Назва статті | Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 1: Direct synthesis |
Посилання | Kritskaya T. V., Jarkin V. M., Kisarin O. O. Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 1: Direct synthesis. Modern Electronic Materials. 2021. № 7(1). C. 1–10. |
Електронне посилання | |
Автори |
-
Kritskaya Tetyana Volodimirivna;
;
-
Jarkin Volodimir Mikolajovich;
;
-
Kisarin Oleg Oleksijovsch;
;
|
Назва журналу (збірника) | Modern Electronic Materials |
Статус журнала (збірника) | Закордонний |
Рік видання | 2021 |
Том | |
Номер (випуск) | 7(1) |
Номери сторінок | 1–10 |
Кількість друкованих аркушів | 0.50 |
Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
Мова видання | Англійська |
Категорія | Публікація в періодичному виданні Категорія SCOPUS, |
---|