| Назва статті | Переход примеси углерода в кристаллический кремний полупроводниковой чистоты |
|---|
| Посилання | Критская Т. В., Шварцман Л. Я., Киселев Е. Н. Переход примеси углерода в кристаллический кремний полупроводниковой чистоты. Металургія. 2019. № 1 (1). C. 109-115. |
|---|
| Електронне посилання | |
|---|
| Автори |
-
Критская Татьяна Владимировна;
;
-
Шварцман Леонид Яковлевич;
;
-
Киселев Егор Николаевич;
;
|
|---|
| Назва журналу (збірника) | Металургія |
|---|
| Статус журнала (збірника) | Вітчизняний фаховий |
|---|
| Рік видання | 2019 |
|---|
| Том | |
|---|
| Номер (випуск) | 1 (1) |
|---|
| Номери сторінок | 109-115 |
|---|
| Кількість друкованих аркушів | 0.56 |
|---|
| Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
|---|
| Мова видання | Російська |
|---|
| Категорія | Публікація в періодичному виданні Категорія FAHOVYI, Б, |
|---|