Вплив процесу дефектоутворення на якість напівпровідникових приладових структур

Назва публікаціїВплив процесу дефектоутворення на якість напівпровідникових приладових структур
ПосиланняНебеснюк О. Ю., Ніконова З. А. Вплив процесу дефектоутворення на якість напівпровідникових приладових структур. Інженерні інновації та розбудова національної економіки : матеріали І Міжнародної науково-практичної конференції Інженерного навчально-наукового інституту ім. Ю. М. Потебні (09–10 травня 2024 року, м. Запоріжжя) / наук. ред. Н. Г. Метеленко Одеса: Видавничий дім «Гельветика», 2024. C. 440-443. URL: https://www.znu.edu.ua/ii_znu/nauka/conf10/zbirnyk_24.pdf.
Електронне посиланняhttps://www.znu.edu.ua/ii_znu/nauka/conf10/zbirnyk_24.pdf
Автори
  • Небеснюк Оксана Юріївна; Nebesniuk Oksana ;
  • Ніконова Зоя Андріївна; Nikonova Zoya ;
Повна назва збірника матеріалів конференціїІнженерні інновації та розбудова національної економіки : матеріали І Міжнародної науково-практичної конференції Інженерного навчально-наукового інституту ім. Ю. М. Потебні (09–10 травня 2024 року, м. Запоріжжя) / наук. ред. Н. Г. Метеленко
Рівень конференціїМіжнародна (закордонна)
Рік публікації2024
Том
Номер (випуск)
Номери сторінок440-443
Кількість друкованих аркушів1
Галузь наукиПриродничо-математичні і технічні
Мова виданняУкраїнська