Методи дослідження матеріалів та компонентів мікро- та наноелектроніки. Конспект лекцій для студентів ЗДІА спеціальності 153 «Мікро- та наносистемна техніка» денної та заочної форм навчання

Назва публікаціїМетоди дослідження матеріалів та компонентів мікро- та наноелектроніки. Конспект лекцій для студентів ЗДІА спеціальності 153 «Мікро- та наносистемна техніка» денної та заочної форм навчання
ПосиланняСвітанько М. В., Верьовкін Л. Л., Хрипко С. Л. Методи дослідження матеріалів та компонентів мікро- та наноелектроніки. Конспект лекцій для студентів ЗДІА спеціальності 153 «Мікро- та наносистемна техніка» денної та заочної форм навчання. Запоріжжя: ЗДІА, 2018. 40 с.
Вид публікаціїМетодичні вказівки
Електронне посилання
Автори
  • Хрипко Сергій Леонідович; ;
  • Верьовкін Леонід Леонідович; Verovkin Leonid ;
  • Світанько Микола Вікторович; Svitanko Mykola ;
ISBN
Назва видавництваЗДІА
Місто видавництваЗапоріжжя
Країна видавництваУкраїна
Рік видання2018
Кількість сторінок40
Кількість друкованих аркушів2.20
Галузь наукиПриродничо-математичні і технічні
Мова виданняУкраїнська
За загальною редакцією