The impact of the method underlay surface processing on the development of defects in epitaxial compositions in the course of silicon photo-transducers production.

Назва статтіThe impact of the method underlay surface processing on the development of defects in epitaxial compositions in the course of silicon photo-transducers production.
ПосиланняНебеснюк О. Ю., Ніконова З. А., Іванчиков С. ., Ніконова А. О., Захода О. . The impact of the method underlay surface processing on the development of defects in epitaxial compositions in the course of silicon photo-transducers production. Электронный научный журнал «Биомедицинская инженерия и электроника». 2017. № 3(17) . C. 25-31.
Електронне посилання
Автори
  • Небеснюк Оксана Юріївна; Nebesniuk Oksana ;
  • Ніконова Зоя Андріївна; Nikonova Zoya ;
  • Ніконова Аліна Олександрівна; Nikonova Alina ;
  • Іванчиков Станислав ; ;
  • Захода Олександр ; ;
Назва журналу (збірника)Электронный научный журнал «Биомедицинская инженерия и электроника»
Статус журнала (збірника)
Рік видання2017
Том
Номер (випуск)3(17)
Номери сторінок25-31
Кількість друкованих аркушів0.25
Галузь наукиПриродничо-математичні і технічні
Мова виданняАнглійська
Категорія
Публікація в періодичному виданні
Категорія Б,