Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution

Назва статтіMethods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution
ПосиланняKritskaya T. V., Jarkin V. M., Kisarin O. O. Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution. Modern Electronic Materials . 2021. № 7(2). C. 33–43.
Електронне посилання
Автори
  • Kritskaya Tetyana Volodimirivna; ;
  • Jarkin Volodimir Mikolajovich; ;
  • Kisarin Oleg Oleksijovich; ;
Назва журналу (збірника)Modern Electronic Materials
Статус журнала (збірника)Закордонний
Рік видання2021
Том
Номер (випуск)7(2)
Номери сторінок33–43
Кількість друкованих аркушів0.55
Галузь наукиПриродничо-математичні і технічні
Мова виданняАнглійська
Категорія
Публікація в періодичному виданні
Категорія SCOPUS,