| Назва статті | Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution |
| Посилання | Kritskaya T. V., Jarkin V. M., Kisarin O. O. Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution. Modern Electronic Materials . 2021. № 7(2). C. 33–43. |
| Електронне посилання | |
| Автори |
-
Kritskaya Tetyana Volodimirivna;
;
-
Jarkin Volodimir Mikolajovich;
;
-
Kisarin Oleg Oleksijovich;
;
|
| Назва журналу (збірника) | Modern Electronic Materials |
| Статус журнала (збірника) | Закордонний |
| Рік видання | 2021 |
| Том | |
| Номер (випуск) | 7(2) |
| Номери сторінок | 33–43 |
| Кількість друкованих аркушів | 0.55 |
| Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
| Мова видання | Англійська |
| Категорія | Публікація в періодичному виданні Категорія SCOPUS, |
|---|