| Назва статті | Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 1: Direct synthesis |
|---|
| Посилання | Kritskaya T. V., Jarkin V. M., Kisarin O. O. Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 1: Direct synthesis. Modern Electronic Materials. 2021. № 7(1). C. 1–10. |
|---|
| Електронне посилання | |
|---|
| Автори |
-
Kritskaya Tetyana Volodimirivna;
;
-
Jarkin Volodimir Mikolajovich;
;
-
Kisarin Oleg Oleksijovsch;
;
|
|---|
| Назва журналу (збірника) | Modern Electronic Materials |
|---|
| Статус журнала (збірника) | Закордонний |
|---|
| Рік видання | 2021 |
|---|
| Том | |
|---|
| Номер (випуск) | 7(1) |
|---|
| Номери сторінок | 1–10 |
|---|
| Кількість друкованих аркушів | 0.50 |
|---|
| Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
|---|
| Мова видання | Англійська |
|---|
| Категорія | Публікація в періодичному виданні Категорія SCOPUS, |
|---|