Аналіз методів оптимізації процесу фотолітографії

Назва публікаціїАналіз методів оптимізації процесу фотолітографії
ПосиланняТерещенко М. ., Міхайлуца О. М. Аналіз методів оптимізації процесу фотолітографії. Матеріали Всеукраїнської науково-практичної конференції «Теоретичні та практичні засади розвитку економіки, обліку, фінансів, менеджменту та права» Запоріжжя: ЗНУ, 2021. C. 166-168.
Електронне посилання
Автори
  • Міхайлуца Олена Миколаївна; Mikhailutsa (Mikhailytsа) Olena ;
  • Терещенко Микола ; ;
Повна назва збірника матеріалів конференціїМатеріали Всеукраїнської науково-практичної конференції «Теоретичні та практичні засади розвитку економіки, обліку, фінансів, менеджменту та права»
Рівень конференціїВсеукраїнська
Рік публікації2021
Том
Номер (випуск)
Номери сторінок166-168
Кількість друкованих аркушів0.13
Галузь наукиПриродничо-математичні і технічні
Мова виданняУкраїнська