| Назва публікації | Моделирование процесса осаждения поликремния из газовой фазы |
|---|
| Посилання | Бережна О. Р., Скачков В. О., Голєв Е. О. Моделирование процесса осаждения поликремния из газовой фазы. Матеріали XХI науково-технічної конференції студентів, магістрантів, аспірантів і викладачів ЗДІА «Металургія та енергозбереження як основа сучасної промисловості» Запоріжжя: ЗДІА, 2016. Т. 1 C. 27. |
|---|
| Електронне посилання | |
|---|
| Автори |
-
Бережна Ольга Русланівна;
Berezhna Olga ;
-
Скачков Віктор Олексійович;
Skachkov Viktor ;
-
Голєв Евген Олександрович;
;
|
|---|
| Повна назва збірника матеріалів конференції | Матеріали XХI науково-технічної конференції студентів, магістрантів, аспірантів і викладачів ЗДІА «Металургія та енергозбереження як основа сучасної промисловості» |
|---|
| Рівень конференції | Регіональна |
|---|
| Рік публікації | 2016 |
|---|
| Том | 1 |
|---|
| Номер (випуск) | |
|---|
| Номери сторінок | 27 |
|---|
| Кількість друкованих аркушів | 0.05 |
|---|
| Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
|---|
| Мова видання | Російська |
|---|