| Назва статті | Possible causes of electrical resistivity distribution inhomogeneity in Czochralski grown single crystal silicon |
|---|---|
| Посилання | Kritskaya T. V., Kobeleva S. P., Anfimov I. M., Berdnikov V. S. Possible causes of electrical resistivity distribution inhomogeneity in Czochralski grown single crystal silicon. Modern Electronic Materials. 2019. № 5 (1). C. 27-32. URL: https://doi.org/10.3897/j.moem.5.1.46315. |
| Електронне посилання | https://doi.org/10.3897/j.moem.5.1.46315 |
| Автори |
|
| Назва журналу (збірника) | Modern Electronic Materials |
| Статус журнала (збірника) | Закордонний |
| Рік видання | 2019 |
| Том | |
| Номер (випуск) | 5 (1) |
| Номери сторінок | 27-32 |
| Кількість друкованих аркушів | 0.42 |
| Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
| Мова видання | Англійська |
| Категорія | Публікація в періодичному виданні Категорія SCOPUS, |