| Назва статті | Возможность использования потока инертного газа для управления качественными характеристиками выращиваемых монокристаллов кремния |
|---|
| Посилання | Критська Т. В., Журавлев В. Н., Бердников В. С. Возможность использования потока инертного газа для управления качественными характеристиками выращиваемых монокристаллов кремния. Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2019. № 22 (3). C. 158-167. |
|---|
| Електронне посилання | |
|---|
| Автори |
-
Критська Тетяна Володимирівна;
Krytska Tetyana ;
-
Журавлев В Н;
;
-
Бердников В С;
;
|
|---|
| Назва журналу (збірника) | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники |
|---|
| Статус журнала (збірника) | Закордонний |
|---|
| Рік видання | 2019 |
|---|
| Том | |
|---|
| Номер (випуск) | 22 (3) |
|---|
| Номери сторінок | 158-167 |
|---|
| Кількість друкованих аркушів | 0.58 |
|---|
| Галузь науки | Природничо-математичні і технічні |
|---|
| Мова видання | Російська |
|---|
| Категорія | Публікація в періодичному виданні Категорія ---, |
|---|